產(chǎn)品型號(hào)
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產(chǎn)品分類(lèi)
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1.Nikon NSR 2005i10C步進(jìn)式光刻機(jī)
光源波長(zhǎng)365nm
分辨率優(yōu)于0.45µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.45µm
N.A.0.57
曝光光源365nm
倍率5:1
曝光現(xiàn)場(chǎng)20mm*20mm
對(duì)準(zhǔn)精度
LSA：100nm
FIA：110nm
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